PFA入珠三通INNODIS
PFA 入珠三通是半导体、光伏等高洁净流体管路系统中,实现流体分流、合流或管路分支连接的核心配件,专为高纯、强腐蚀性介质的输送场景设计。
1INNODIS接头
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1. 核心用途
流体分流 / 合流控制在药液输送、超纯水循环等管路中,可实现一路流体分为两路输送,或两路流体合并为一路的功能,是构建复杂管路系统的关键节点。例如将主路药液分配至不同设备分支,或收集多个支路的超纯水至主管路。
高洁净制程的管路分支连接采用高纯 PFA 材质,无离子析出、无颗粒污染,耐强酸强碱腐蚀,可直接用于光刻胶、酸碱药液、超纯水等高洁净介质的输送系统,满足半导体行业 Class 10 级洁净度要求。
无死区设计,避免介质残留污染一体成型工艺,内壁光滑无死角,入珠式快插结构无滞留区,可有效避免介质残留导致的交叉污染,保障制程的稳定性与产品良率。
进口品牌兼容与替代适配 INNODIS 标准管路接口,可兼容同规格进口设备管路,实现产线升级中的低成本替换,降低维护与采购成本,保障系统稳定性。
2.典型应用场景
半导体晶圆制造:清洗机药液管路分支、刻蚀设备循环管路分流、超纯水系统合流节点
光伏行业:硅片酸碱清洗线药液分配、制绒设备多支路管路连接
生物医药:纯化系统管路分支、药液配制管路的分流 / 合流节点
实验室 / 科研:高纯试剂输送管路分支、超纯水系统管路扩展
3. 产品优势补充
高纯 PFA 材质,耐温范围广(-40℃~260℃),适配不同制程温度要求
入珠式快插连接,安装便捷,无需额外工具,提升维护效率
无尘车间独立包装,开箱即可直接用于高洁净制程
无金属部件,避免金属离子污染,适配严苛的半导体制程环境
