PFA入珠弯头INNODIS
PFA 入珠弯头是半导体、光伏等高洁净流体管路系统中,实现管路 90° 转向连接的核心配件,专为高纯、强腐蚀性介质的输送场景设计。
1INNODIS接头
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1.核心用途
管路 90° 转向连接在药液输送、超纯水循环等管路中,当需要改变流体输送方向时,可实现管路的 90° 转向连接,适配设备内部狭小空间布局,是构建复杂管路系统的关键节点。
高洁净制程的转向适配采用高纯 PFA 材质,无离子析出、无颗粒污染,耐强酸强碱腐蚀,可直接用于光刻胶、酸碱药液、超纯水等高洁净介质的输送系统,满足半导体行业 Class 10 级洁净度要求。
无死区设计,避免介质残留污染一体成型工艺,内壁光滑无死角,入珠式快插结构无滞留区,可有效避免介质残留导致的交叉污染,保障制程的稳定性与产品良率。
进口品牌兼容与替代适配 INNODIS 标准管路接口,可兼容同规格进口设备管路,实现产线升级中的低成本替换,降低维护与采购成本,保障系统稳定性。
2. 典型应用场景
半导体晶圆制造:清洗机药液管路转向、刻蚀设备内部管路布局、超纯水系统转向节点
光伏行业:硅片酸碱清洗线药液管路转向、制绒设备内部空间受限的管路连接
生物医药:纯化系统管路转向、药液配制管路的 90° 连接节点
实验室 / 科研:高纯试剂输送管路转向、超纯水系统管路布局适配
3. 产品优势补充
高纯 PFA 材质,耐温范围广(-40℃~260℃),适配不同制程温度要求
入珠式快插连接,安装便捷,无需额外工具,提升维护效率
无尘车间独立包装,开箱即可直接用于高洁净制程
无金属部件,避免金属离子污染,适配严苛的半导体制程环境
