1.产品用途

PFA 小型过滤器是半导体、光伏、生物医药等高洁净流体系统中的精密过滤单元，主要用于药液、超纯水、特种化学品的在线过滤，去除介质中的微小颗粒杂质，保护下游精密设备（如喷嘴、阀门、泵体）免受污染与磨损，是保障制程稳定性与产品良率的关键部件。

2.产品核心特点

• 高纯耐腐材质：采用 PFA（可溶性聚四氟乙烯）材质，耐强酸、强碱、强氧化剂及各类有机溶剂，可长期输送氢氟酸、光刻胶剥离液等强腐蚀性介质，无析出、无溶胀，不污染高纯流体。

• 高洁净无残留：内壁光滑无吸附，无金属离子析出，可满足半导体湿法工艺 Class 1 级高洁净要求，避免交叉污染风险。

• 在线式精密过滤：集成化设计，可直接安装在管路中，实现流体的连续过滤；内部可搭配不同精度滤芯，满足从粗滤到精滤的不同需求。

• 易维护易更换：顶部螺纹式上盖设计，可轻松打开更换滤芯，维护便捷，降低系统停机时间与成本。

• 多接口适配性强：自带标准管路接口与侧接辅助接口，可适配多种管路布局，满足旁通过滤、排气、取样等多样化应用需求。

• 宽温域稳定可靠：适用温度范围广，长期使用不易变形、脆化，适配半导体清洗机、光伏制绒设备等不同制程的温度工况。

3.典型应用场景

• 半导体领域：晶圆清洗药液过滤、刻蚀 / 去胶工艺流体过滤、超纯水终端精密过滤、光刻胶相关流体过滤

• 光伏行业：硅片酸碱清洗线药液过滤、制绒 / 刻蚀设备工艺流体过滤、超纯水系统杂质去除

• 生物医药：纯化系统流体过滤、试剂输送管路杂质去除、反应过程介质精密过滤

• 化工与实验室：强腐蚀性流体在线过滤、高纯试剂输送管路杂质去除、微量杂质分离